要明确引起间质性肺疾病的病因往往是很困难的，部分原因是有很多疾病都可以被划分到这个大的范畴中。另外，还有很多其他的疾病，例如慢性阻塞性肺病 (COPD)、心衰、哮喘等，它们的症状与间质性肺疾病的症状很相似，因此，医生在做出诊断前还必须排除这些疾病。
在诊断间质性肺疾病时，医生一般会详细地询问你的病史并进行体格检查，并进行以下的一些检查：
- 胸部X片：它可以帮助排除一些与间质性肺疾病有类似症状的疾病，例如肺气肿或是肺叶萎陷。
- 高分辨计算机断层扫描 (HRCT)：传统的胸部X片只能显示你的肺部的二维图像， CT 扫描可以显示更为清晰的横截面图像。而 HRCT 则更进一步，其产生的肺组织图像更为清晰，比传统的 CT 扫描能提够更多的信息。
- 肺功能检查：这是一种无创的检查，可以测出你的肺功能。在这项检查中，医生一般会让你向一个叫做肺量计的简单仪器中使劲吹气，以测量你的肺活量。如果你的肺部有瘢痕，那么肺活量会减少。
- 运动测试：因为间质性肺疾病的症状会在运动时恶化，所以医生可能会评估你在运动时的肺功能，一般的运动方式是原地蹬车或跑步机上跑步。
- 经支气管活检：在很多情况中，间质性肺疾病的最终诊断需要通过对肺组织进行活检。在经支气管镜活检中，医生通过你的口腔伸入一根弹性的、带有光导纤维的管子 (支气管镜) 进入肺部，摄取一小块肺组织 (与大头针的顶部大小差不多) ，然后进行直接检查。
- 可视胸腔镜检查：当通过上述创伤较小的检查无法作出明确诊断时，医生可能会进行肺活检手术。在这项操作中，医生将一个带有摄像头的弹性管子 (内窥镜) 通过两根肋骨之间的小切口进入胸腔，这样医生可以在监视屏幕上观察到肺的情况。接着，医生通过另一个切口插入手术设备，摄取一块指甲大小的肺组织进行检查。
